Dépôts combinatoires d’oxydes à l’échelle sub-nanométrique par ablation laser multi cibles pour la réalisation de condensateurs intégrés à très haute densité ou ajustables – NANOCOMBI
Project coordination
François GERVAIS (Université)
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Partner
Help of the ANR 596,220 euros
Beginning and duration of the scientific project:
- 36 Months