Microscopie electronique en transmission sur le plateau Palaiseau Orsay Saclay

TEMPOS est une plateforme en microscopie électronique en transmission sur le plateau de Saclay rassemblant des équipes de l’Université Paris-Saclay et du CNRS, de l’Ecole polytechnique et du CEA. L’originalité de ce projet tient dans le développement d’une instrumentation innovante en microscopie en collaboration avec des industriels, constructeurs de microscopes ou spécialistes en instrumentation.

TEMPOS rassemble deux équipements prototypes uniques (CHROMATEM et NANOMAX), et un troisième pôle pour accompagner le développement d'activités locales en nanosciences (NANOTEM). NANOMAX et CHROMATEM repoussent les limites de l'étude des nano-objets individuels et nanomatériaux (nanomatériaux pour l'oxitronique, métamatériaux, nanofils semiconducteurs et émetteurs quantiques, nanotubes de carbone) de leur croissance à la mesure la plus locale de leurs propriétés physiques.

Faits marquants :

CHROMATEM

- expériences combinant faisceaux de photons et d’électrons : optique quantique par cathodoluminescence (2013), spectroscopie de gain d’énergie sur prototype (avril 2018) et sur CHROMATEM (2021)  

- EELS à 10 meV de résolution et à basse température (fin 2017), démonstration du couplage plasmon/phonon à l’échelle nanométrique (2020), tomographie de modes de phonons (2021), luminescence de perovskytes nanométriques (2021)

NANOMAX

- croissances in-situ avec porte-objet chauffant (2013)

- première croissances MBE et observation in situ de nanofils (GaAs, InAs, GaSb) avec la résolution atomique (2016),

- premières croissances CVD in situ (nanotubes de carbone) (2018)

- expériences de croissance CVD -PECVD- et assistées par radicaux –RaCVD- (2019)

- suivi in situ à la résolution atomique de la sélection de la phase cristalline de croissance dans des nanofils III-V (2020).

- suivi in situ en vue plane de la formation de dislocations pendant les premiers stades de croissance de nanofils de GaAs sur Si (2021)

NANOTEM

- cartographies élémentaires EDX à la résolution atomique (2014)