JCJC SIMI 10 - JCJC - SIMI 10 - Nanosciences

Imagerie par diffraction des rayons X de nano-objets uniques pour la photonique et l'électronique – XDISPE

Résumé de soumission

Les nano-structures de semi-conducteurs sont des composants essentiels de dispositifs modernes, particulièrement pour ce qui concerne les applications en photonique et électronique. Le succès de leur développement a tenu aux avancées tant du point de vue des techniques de fabrication que des méthodes d'études de leurs propriétés physiques et structurales.

Avec la diminution de la taille des dispositifs actifs – afin d'augmenter leur efficacité via l'exploitation de confinement optique ou électronique, la performance de nano-objets individuels est devenu beaucoup plus sensible à de petites variations de leurs caractéristiques structurales (forme, taille, champs de déformation). Il est ainsi devenu nécessaire de pouvoir caractériser de manière précise des objets individuels. Durant les 10 dernières années, plusieurs techniques se sont ainsi développées, afin de permettre les mesures de photo-luminescence et de transport de nano-structures uniques. Pendant cette même période s'est développée l'utilisation de nano-faisceaux de rayons X, permettant d'étudier des objets uniques avec une taille inférieure à 100 nm, via la méthode d'imagerie par diffraction cohérente.

L'objectif du projet XDISPE est de développer des études combinées de nano-structures uniques de semi-conducteurs, en mesurant à la fois les propriétés physiques (luminescence ou transport) et les propriétés structurales (forme, déformation) des mêmes objets uniques. Cette étude portera sur les types de matériaux suivants :
(1) des nanofils de GaAs avec une insertion de puits quantiques d'InAs.
(2) Silicon-On-Insulator lines (SOI), avec et sans contrainte artificielle (sSOI= SOI contraint).

Pour les deux types d'échantillons, nous utiliserons la technique de diffraction cohérente des rayons X, afin de reconstruire la structure d'objets individuels pour des séries d'objets. Enfin, nous utiliserons ces données pour comprendre la relation entre les propriétés structurales et l'efficacité physique des objets individuels.

Coordination du projet

Vincent FAVRE-NICOLIN (Service de Physique des Matériaux et des Microstructures) – vincent.favre-nicolin@esrf.fr

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

SP2M - UJF Service de Physique des Matériaux et des Microstructures
UNIVERSITE GRENOBLE JOSEPH FOURRIER

Aide de l'ANR 400 483 euros
Début et durée du projet scientifique : - 36 Mois

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