Masqueur électronique pour la centrale de proximité du SPEC – MASQUELSPEC

L'atelier de nanofabrication du SPEC créé en 1988 est devenu depuis une plate-forme utilisée pour les activités nanosciences d'équipes du SPEC du DRECAM du CNRS (LPS) de l'université (Paris 7 Paris 11) ou de la métrologie (LNE). Sa spécificité est que les chercheurs y fabriquent eux-mêmes tous leurs circuits. Il a été labellisé en 2004 centrale de technologie de proximité associée au LPN qu'il complète pour les circuits supraconducteurs. Le CEA et la région (contrat SESAME) ont consenti pour la rénovation et l'agrandissement de cette centrale en 2006 un investissement important mais la lithographie électronique est encore insuffisante. Les limitations du système actuel et sa surcharge demandent de créer un nouveau pôle équipé d'un masqueur électronique utilisable par tous (après formation) pour la fabrication plus efficace de nanostructures variées. Le contexte scientifique couvre la physique mésoscopique (transport cohérent supraconductivité…) les circuits quantiques (bits quantiques …) l'électronique moléculaire (nanotubes de carbone composants moléculaires …) les nouveaux matériaux (graphène couches minces épitaxiées …) et les nanosciences en général. Les nombreuses réussites scientifiques obtenues depuis la création de cette centrale qui a formé un grand nombre d'étudiants et de post-doctorants ont prouvé son bien-fondé. Une subvention de la région (C'Nano) a été déjà obtenue mais le soutien de PNano est essentiel au projet. - - ?