Phénomènes de surfaces à l’échelle nanométrique et moyens de caractérisation : Vers des surfaces de référence et étalons de rugosité. – Nanoref

A l’échelle nanométrique il n’existe pas encore d’étalons de rugosité (surfaces aléatoires de référence) malgré les nouveaux développements dans le domaine des nanosciences et des moyens de caractérisation associés. En absence d’étalons et/ou de normalisation les mesures comparatives de rugosité de surface menées par différentes équipes nationales et internationales ont révélé la possibilité d’un désaccord entre les résultats notamment lorsque les dispositifs impliqués ne s’appuient pas sur un même principe physique et où les grandeurs d’influence ne sont pas identiques. Cette étude vise à définir des surfaces de référence et les procédures de polissage appropriées en vue de réaliser des étalons de nano-rugosité avec un quasi continuum de fréquences spatiales et un état de contamination contrôlé. On définira aussi les conditions de conservation et de traitement à appliquer. Pour cela des études physico-chimiques sont envisagées. La notion de rugosité est attachée à une résolution spatiale latérale ou verticale ce qui doit amener à étudier son aspect multiéchelle. Nous montrerons comment la densité spectrale de puissance est liée à la surface de l’objet donc plus représentative de la rugosité superficielle. On s’attachera également à déterminer le lien entre images en champ proche optique et mesures en champ lointain. La finalité étant de décorréler les effets optiques et topographiques et comprendre l’effet de la rugosité sur la dépolarisation de la lumière.