Développement d'un spectromètre nano-Raman polarimétrique et son application à la caractérisation de nanostructures – POLARAMAN

Les principaux objectifs du projet sont 1. le développement (conception et réalisation) 2. la validation et 3. l’application à retombées multiples d’un instrument de laboratoire innovant de caractérisation optique : le spectromètre nano-Raman polarimétrique. L'appareil mis au point combinera idéalement la mesure et l’exploitation de la réponse polarimétrique complète de l’échantillon sous forme de sa matrice de Mueller en diffusion Raman avec la puissance d'analyse de la spectroscopie Raman en champ proche (nano-Raman). De plus la capacité polarimétrique de l’appareil pourra être utilisée aussi bien en mode champ proche – nano-Raman – qu’en mode micro-Raman conventionnel. L’appareil sera ensuite validé sur des échantillons démonstrateurs et appliqué en tant qu'outil d'analyse de haute performance dans des domaines de recherche de grande actualité comme la métrologie des structures semiconductrices notamment l’analyse des contraintes internes dans les circuits microélectroniques et la caractérisation structurale (chiralité …) de nanotubes de carbone. Cette approche donnera lieu à de méthodes innovantes de caractérisation des nanomatériaux. Il s’agit d’un développement instrumental et méthodologique unique en son genre ayant récemment fait l’objet d’un dépôt de brevet.