– memsh

Notre objectif est de détecter électriquement les déviations subnanométriques de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) par une technique piezoresistive originale et ultra-sensible – plus sensible que les techniques optique – basée sur la «piezoconductivité extraordinaire» découverte dans les hybrides semiconducteur/métal (MSH). Contrairement aux détections optiques standard cette nouvelle technique n’est pas restreinte à des environnements transparents ou présentant un indice réfracteur constant et peut être utilisée dans des environnements photosensibles. L’absence d’un faisceau laser permet le développement de senseurs compacts compatible avec des espaces restreints. Un système de détection de force ultra-sensible implique actuellement des constantes de force très faibles ce qui le rend très lent et empêche l’observation dynamique de réactions biochimique par bioMEMS. La structure MSH permet de pallier à ces problèmes car elle ne nécessite pas de laser et est très sensible sans qu’il soit nécessaire de réduire la constante de force du levier MEMS. Ce senseur sera utilisé pour la résolution à l’échelle atomique de la structure en terasse d'une surface du silicium avec un AFM entièrement électrique et la détection par des bioMEMS de l’hybridation de l’ADN. La réussite du projet se traduira par l’obtention d’images AFM de qualité commerciale et par l’observation dynamique de l’hybridation de l’ADN à très basse concentration.