– HEVICAL
La future couche photonique sur circuit électronique intégré CMOS aura besoin de sources de lumière pour transmettre l’information. Nous développerons dans ce projet des nouvelles configurations de microsources laser couplées dans un guide d’onde silicium en utilisant un miroir/coupleur à base de cristaux photoniques. La source laser sera fabriquée avec un procédé totalement compatible avec la technologie CMOS. Elle est constituée d’une cavité résonnante verticale dont le faisceau laser est couplé horizontalement directement dans un guide silicium. Le cristal photonique réalisé sur une structure SOI (Silicium On Insulator) sert à la fois de miroir pour la cavité laser verticale et de coupleur dans le guide optique. Dans l’approche étudiée dans le projet le gain optique sera apporté par le matériau III-V alors que le miroir/coupleur sera réalisé en silicium. Le couplage dans les guides sub-µm de la couche optique CMOS sera optimal en raison de la fabrication simultanée du miroir/coupleur et des guides Si. Les lasers seront pompés électriquement. Nous visons des puissances optiques injectées dans les guides « silicium sur isolant » de l’ordre d’une centaine de µW.
Coordination du projet
Philippe GILET (Organisme de recherche)
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Partenaire
Aide de l'ANR 346 360 euros
Début et durée du projet scientifique :
- 36 Mois