PNANO - Programme National en Nanosciences et Nanotechnologies

Dépôts combinatoires d’oxydes à l’échelle sub-nanométrique par ablation laser multi cibles pour la réalisation de condensateurs intégrés à très haute densité ou ajustables – NANOCOMBI

Résumé de soumission

L’objectif du projet consiste en l’étude et le développement de bibliothèques de nouveaux matériaux nano-contrôlés ainsi que de structures MIM (Métal – Isolant – Métal). On sélectionnera des matériaux de structures Pérovskites ou dérivées, conducteurs ou à constante diélectrique très élevée (> 10 000) ou ajustable sous champ électrique. Les applications visées concernent l’électronique nomade, et en particulier le filtrage très haute fréquence (> 100 GHz) et le découplage. Les aspects innovants résident dans : 1. Le dépôt combinatoire par ablation laser, à partir de 12 cibles de matériaux pérovskites simples, permettant d’explorer finement et systématiquement le diagramme de phase de solutions solides complexes, et d’identifier les points optimums du diagramme de phase en rapport avec la propriété recherchée 2. La fonctionnalisation des compositions sélectionnées précédemment par élaboration combinatoire de composants MIM en variant les différentes couches et en contrôlant leurs interfaces. Dans ces 2 étapes, l’approche combinatoire est valorisée grâce au contrôle à l’échelle sub-nanométrique de la stoechiométrie des couches, en choisissant le nombre de tirs sur chaque cible et la fluence du laser. 3. La réalisation sur un même substrat d’une centaine de matériaux ou de structures MIM de combinaisons différentes, par masquage in situ (« shadow-masking »), permettant une caractérisation haut-débit d’une vaste bibliothèque d’échantillons. Après un balayage rapide de la propriété recherchée, on s’attachera à étudier en détail les meilleures et les moins bonnes structures MIM, pour comprendre l’origine des verrous.

Coordination du projet

François GERVAIS (Université)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

Aide de l'ANR 596 220 euros
Début et durée du projet scientifique : - 36 Mois

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